인베니아, 유도 결합 플라즈마 처리장치 특허 취득

[이데일리 조용석 기자] 인베니아(079950)는 건식식각장비 공정공간 내에 독립적으로 공정가스를 분사시키는 것을 특징으로 하는 ‘유도 결합 플라즈마 처리장치’에 대한 국내 특허를 취득했다고 22일 공시했다.

회사 측은 “윈도우 조립체와 커버 조립체 사이에 일정 간격의 공간을 형성할 수 있는 실링 조립체를 배치, 외부로부터 공급된 공정가스를 수용해 공정 공간으로 분사시킬 수 있으므로 샤워헤드의 미사용에 따라 전체 장비의 크기를 축소함과 함께 유지보수 비용을 절감할 수 있다”며 “대면적 OLED 건식식각장비에 적용될 예정”이라고 설명했다.