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SK하이닉스, 9회 산학연구과제 우수발명 포상

최영지 기자I 2021.12.03 10:04:08

최우수상에 이호준 부산대 교수
'이온 소스 헤드 포함' 이온 주입 장치 특허

[이데일리 최영지 기자] SK하이닉스(000660)가 제9회 산학연구과제 우수발명 포상을 실시했다고 3일 밝혔다.

올해로 9회째를 맞이한 산학연구과제 우수발명 포상식은 연구자의 사기를 북돋우고, 개발을 장려하기 위해 SK하이닉스가 지난 2013년부터 매년 개최하는 사회공헌행사 중 하나다.

올해 행사는 코로나19로 인해 SK하이닉스 임직원들이 수상자를 직접 찾아가 상패를 전달하는 방식으로 포상식을 진행했다.

이번 포상식에서 최우수상은 이호준 부산대 교수에게 돌아갔다. 이 교수는 ‘이온 소스 헤드 및 이를 포함하는 이온 주입 장치’ 특허로 최우수상을 수상했다. 본 특허는 고진공, 저유량에서도 고주파 플라즈마를 생성할 수 있어, 기존 대비 플라즈마 효율을 향상시키고, 이온 소스 사용주기를 2배 이상 개선해 비용을 절감하는 장점이 있어 기술적으로 높은 평가를 받았다.

우수상은 노삼혁 울산과학기술원 교수, 장려상은 박찬혁 이화여대 교수, 노원우 연세대 교수, 전정훈 성균관대 교수가 받는다.

SK하이닉스가 3일 제9회 산학연구과제 우수발명 포상을 실시했다. 왼쪽부터 하용수 PL SK하이닉스 특허개발기획, 이호준 부산대 교수, 김준수 SK하이닉스 R&D전략기획 TL이다. (사진=SK하이닉스)


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