[배진솔의 전자사전]슈퍼사이클 올라탄 반도체…장비업체도 같이?

ASML 클린룸 시설(사진=ASML 홈페이지)

[이데일리 배진솔 기자] 5세대 이동통신(5G), 클라우드, 전기차 등 확산으로 반도체 사용량이 증가하면 메모리 반도체, 시스템 반도체 등 반도체 전방산업의 업황에 대한 기대치가 올라가고 있습니다. 반도체 슈퍼사이클에 올라탄 것은 전방산업뿐만 아닌데요. 증가하는 반도체 수요에 맞춰 주요 고객사들이 추가로 장비를 투자하고 있어 장비 회사들 또한 이 사이클에 올라탈 것으로 기대됩니다. 그 중 전 세계에서 유일하게 극자외선(EUV)노광 장비를 생산하고 공급하는 ASML에 대한 관심 또한 뜨겁습니다. 오늘 ‘배진솔의 전자사전’에서는 주요 고객사들의 치열한 장비 선점에 대해 알아보겠습니다.

전 세계 노광 장비 시장은 네덜란드의 ASML과 일본의 캐논, 니콘이 장악하고 있습니다. 이 중 ASML은 85.3%로 압도적인 1등인데요. ASML이 독점생산하고 있는 EUV 장비가 최근 반도체 업계에서 승부수로 불리기 때문입니다. EUV 장비는 초미세 공정 경쟁을 하는 반도체 업계에서 없어서는 안되는 무기가 됐습니다.

특히 ASML이 승부수로 불리는 이유는 EUV 장비 공급량이 제한적이기 때문인데요. 지난 2010년부터 EUV 장비 공급을 시작했지만 지난해 12월에야 100번째 장비를 출하했을 정도죠. 가격은 1500~2000억원에 달하고 제작에만 무려 5개월이 걸립니다. 지금 예약을 하더라도 바로 받아볼 수 있는 것이 아니죠.

ASML은 지난해 장비 35대를 출하하고 올해는 47대를 출하할 계획입니다. 현재까지는 글로벌 파운드리(반도체 수탁생산)업체 1위인 대만의 TSMC가 40여대, 삼성전자가 20여대 수준의 EUV 장비를 확보한 상황입니다. 올해 TSMC가 30대, 삼성전자가 10대 정도의 EUV 장비를 확보할 것으로 예상됩니다.

최근 SK하이닉스도 ASML로부터 총 4조7550억원의 EUV 장비를 구매했습니다. EUV 장비의 평균 판매가격을 감안하면 약 18대 정도의 구매량을 의미하는데요. 이를 5년간에 걸쳐 취득할 예정입니다.

메모리 반도체 업체들도 D램 생산에 EUV 공정을 도입해 제품의 전력효율과 성능을 높이려는 전략을 쓰고자하는 것인데요. 삼성전자는 올해 가동한 평택2라인에서 내년부터 EUV 공정을 D램 메모리 반도체 생산에 적용합니다. SK하이닉스도 내년 하반기 ASML EUV 장비로 D램을 만들기로 했고, 미국의 마이크론도 EUV 설비 개발 엔지니어를 모집하며 EUV 공정 도입을 준비 중이죠.

박유악 키움증권 연구원은 “그 동안 D램 업체들이 EUV 장비를 확보하기 위해서는 ASML에 장비 가격 인상이나 장기계약 체결 등 인센티브할 정도였다”며 “D램 설비 투자에 대한 관심이 높아진 만큼 관련 장비·소재 업체들에게도 긍정적인 이슈”라고 말했습니다.