삼성전자, 日 불화수소 일부 국산품 등으로 대체

[이데일리 양희동 기자] 삼성전자(005930)가 반도체 공정에 사용하는 일본의 에칭가스(고순도 불화수소) 일부를 최근 국산품 등으로 대체한 것으로 알려졌다. 에칭가스는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 원판에 회로를 새길 때 필요한 소재다.

3일 업계에 따르면 삼성전자는 일부 공정에서 일본산 이외의 제품을 투입하고 민감도가 낮은 부분부터 국산 에칭가스 등으로 대체해 나갈 것으로 전해졌다. 일본이 지난 7월 4일부터 한국에 대해 에칭가스 등 3개 품목 수출을 규제한 이후 두 달만에 수급 다변화를 상당부분 이룬 것으로 평가된다.

삼성전자는 지난 두 달 간 일본산 에칭가스를 대체하기 위해 국·내외 여러 제품에 대한 테스트를 진행해오고 있다. 업계는 대체품을 실제 양산에 투입하기까지는 석달에서 반년 가량이 걸릴 것으로 내다보고 있다.

한편 LG디스플레이는 국산 에칭가스를 공정에 투입한 것으로 파악되며, 삼성디스플레이도 대체 테스트를 마무리 할 것으로 전해졌다.