by유준하 기자
2020.06.01 17:02:14
[이데일리 유준하 기자] 케이맥(043290)은 한국산업기술평가관리원의 기계산업핵심기술개발사업-제조기반생산시스템 국책과제의 주관연구기관으로 선정돼 협약을 체결했다고 1일 공시했다. 과제명은 ‘ 300mm 웨이퍼의 박막 조성 및 두께 모니터링을 위한 중에너지 이온산란분광기 개발’이다.
총 연구비는 정부출연금 27억5000만원을 포함한 36억7084만4000원으로 연구기간은 지난 4월 1일부터 2022년 12월 31일까지다.