K-초순수 나왔다…한성크린텍, 초순수 국산화 성공

by김응열 기자
2023.04.12 17:39:36

[이데일리 김응열 기자] 이엔코퍼레이션(066980)은 자회사 한성크린텍이 반도체용 고순도 공업용수(초순수)의 국산화를 통한 기술자립화에 성공했다고 12일 밝혔다.

이엔코퍼레이션 CI. (사진=이엔코퍼레이션)

한성크린텍은 지난 2021년 7월부터 초순수 생산공정 국산화 플랜트 기술개발 국책과제에 참여해왔다. 이 회사는 1단계 1200톤/일 초순수 실증플랜트 구축과 시운전을 마무리하고, 반도체용 초순수 공급에 적합한 수질검사 등 성능검증을 완료했다.

지난 10일부터는 실증플랜트에서 생산하는 초순수를 구미 SK실트론 반도체 웨이퍼 공정에 시범공급하고 있다. 다음달부터는 본격 공급에 나선다. 한성크린텍은 일본업체와 경쟁해 SK실트론의 대용량 초순수 제조설비 설계와 기자재 조달, 시공 전반에 걸친 836억원 상당 수주를 성공했다.



이엔코퍼레이션 관계자는 “한성크린텍의 국산 기술로 제조한 초순수를 성공적으로 SK실트론에 공급해, 그간 일본 업체가 독점하던 초순수 시장에서 기술 자립화와 반도체 소부장 독립에 앞장설 것”이라고 말했다.

이에코퍼레이션의 100% 자회사 한성크린텍은 국내뿐 아니라 헝가리 및 베트남에 법인을 설립하고 해외사업에도 역량을 집중 투입하고 있다. 인도네시아 롯데케미칼 해수담수화 플랜트 사업, 베트남 엠코테크놀로지 수처리 설비공사, 헝가리 SK온 2차전지 공정 공조용 설비 수주 등 다양한 해외 프로젝트를 수행했다.