by신하영 기자
2021.05.06 14:19:21
신소재공학부 4학년 정종호 씨 반도체 공정 논문
재료공학 분야 학술지 ‘Materials Letters’ 게재
[이데일리 신하영 기자] 국민대 학부생이 제1저자로 참여한 논문이 재료공학 분야 저명 학술지에 게재됐다.
국민대는 신소재공학부 4학년 정종호 씨의 논문이 재료공학 분야 SCI 학술지 ‘머터리얼스 레터스(Materials Letters)’에 게재됐다고 6일 밝혔다.
정 씨는 실로콘 반도체 공정에서 널리 사용되는 불화탄소 플라즈마 공정을 이셀렌화텅스텐 트랜지스터에 적용, 공정 조건에 따라 기존 연구 결과와 상반된 결과가 나타난다는 점을 증명했다. 통상 불화탄소 플라즈마 공정 후에는 양전하인 정공 주입 효과가 나타나는 것으로 알려졌지만, 정 씨는 공정 조건에 따라 음전하인 전자 주입 효과가 생길 수 있다는 점을 최초로 확인했다.
연구를 지도한 국민대 신소재공학부 최웅 교수는 “학생 스스로 이번 연구 주제를 찾아 연구를 진행했으며 이는 대학원생도 하기 힘든 일”이라며 “해당 논문은 정종호 학생의 재능과 노력이 보태져 나온 결과물”이라고 했다.
정 씨는 “학부연구생을 시작할 때 이렇게 좋은 결과를 얻게 될 줄은 몰랐다. 연구 기회를 주신 교수님과 연구를 도와준 대학원생들에게 감사하다”며 “학부연구생의 경험을 바탕으로 졸업 후 반도체 산업 발전에 기여하고 싶다”고 밝혔다.