시노펙스, 나노급 ePTFE 생산 시설 구축

by함지현 기자
2023.03.21 13:03:49

[이데일리 함지현 기자] 필터전문기업 시노펙스(025320)는 국내 최초로 나노급 ePTFE 필터 생산이 가능한 설비 개발에 성공했다고 21일 밝혔다.

손경익 시노펙스 대표이사(사진=시노펙스)

ePTFE는 반도체 생산 공정 외에도 바이오, 제약, 수소연료전지, 고청정 크린룸용 울파(ULPA) 필터, 인공혈관, 5G 통신케이블 등 다양한 산업분야에서 사용하는 필터로 세계 시장규모는 약 3조원 이상으로 추산된다.

시노펙스는 이날 충남 천안시 서북구에 위치한 천안사업장에서 나노급 ePTFE 생산설비 개발에 맞춰 공장 준공식을 가졌다. 이곳은 이미 100나노급 이상의 ePTFE 필터 생산라인과 앱솔루트 MB필터 생산라인을 가동하고 있다. 이번에 국내 최초로 개발된 나노급 ePTFE 생산설비가 추가됐다.

이번에 개발한 ePTFE 생산 설비는 20나노(성인머리카락 두께의 약 5000분의 1) 이하 초미세 기공의 필터 생산이 가능하다. 시노펙스는 올해 말까지 10나노 이하의 최첨단 ePTFE 필터 제품을 개발할 예정이다.



일반적으로 고어텍스로 알려진 ePTFE는 약 250도의 고온에서도 변화가 없으며, 불산, 황산 같은 강산에서도 견디는 첨단 소재다. 특히 나노급 ePTFE 필터는 첨단 반도체 제조 공정에 필수적으로 사용되지만 필터 1개당 1000만원이 넘는 고가이며 전량 수입에 의존하고 있다.

시노펙스는 이미 글로벌 1위 반도체 기업에 CMP필터를 공급하며 기술력을 인정 받았으며, 고객으로부터 나노급 반도체 생산에 필요한 나노급 ePTFE 필터 공급을 요청 받아 2020년부터 개발을 시작해 약 3년 동안의 기술개발과 투자를 통해 이번 성과를 이뤄냈다고 밝혔다.

석유민 시노펙스 연구개발(R&D)센터장은 “이번 나노급 ePTFE 생산 설비 개발을 위해 사내에 메카트로닉스 센터를 설치하고 설계부터 장비제작 설치까지 전 분야를 자체 기술과 역량으로 개발했다”며 “현재 전량 수입에 의존하고 있는 나노급 ePTFE 필터의 국산화를 통해 국가 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여하겠다”고 강조했다.