by김정남 기자
2012.08.27 15:38:32
[이데일리 김정남 기자] 삼성전자(005930)는 네덜란드의 반도체 리소그래피(노광) 장비업체인 ASML에 약 7억7900만유로를 투자한다.
삼성전자는 ASML이 진행하는 고객사와의 공동 투자 프로그램에 참여하는 형식으로, 2억7600만 유로를 ASML 차세대 리소그래피 기술 연구개발(R&D)에 5년에 걸쳐 투자한다고 밝혔다. 또 삼성전자는 5억300만유로 상당의 ASML 지분 3%도 인수할 계획이다.
ASML은 반도체 미세회로 패턴 형성에 필요한 극자외선(EUV) 리소그래피 기술을 가진 업체다. 삼성전자에 앞서 이번 공동 투자 프로그램을 통해 인텔, TSMC와도 계약을 맺었다.
회사 관계자는 “이번 투자가 차세대 EUV 리소그래피 기술개발 시기를 앞당겨 반도체 산업 발전에 도움이 될 것”이라고 기대했다.