by정병묵 기자
2013.08.13 11:34:08
[이데일리 정병묵 기자] 미래창조과학부는 국가핵융합연구소로부터 플라즈마 기술을 이전받은 국내 중소기업 경원테크가 반도체 핵심 제조공정에 필요한 소프트웨어(SW) ‘K스피드’ 국산화에 성공, 삼성전자(005930)에 공급한다고 13일 밝혔다.
K스피드는 플라즈마를 사용하는 반도체 식각 및 증착공정을 시뮬레이션하는 SW로 경원테크는 핵융합(연), 표준(연), 전북대, 부산대 등과 산학연협력 연구를 통해 개발에 성공했다. 최근 삼성전자 반도체연구소와 성능평가를 완료하고 소프트웨어 공급계약을 체결하게 됐다.
K스피드 개발 성공으로 반도체 공정해석 기술의 본격적인 국산화가 가능하게 돼, 외국에 의존하고 있는 핵심기술의 한계를 극복할 수 있을 것으로 기대된다.
서광원 경원테크 대표는 “출연(연)과 지속적인 연구협력으로 국내외 반도체 공정해석 소프트웨어 시장에 진출할 수 있게 됐다”며 “향후 추가적인 현장 맞춤형 반도체 공정 소프트웨어 개발을 통해 국산화 기술 확보 및 세계 시장 진출 등에 노력할 것”이라고 말했다.