예스티 "고압 어닐링 베타 장비 개발 본격화"

by김응태 기자
2022.09.02 09:44:49

[이데일리 김응태 기자] 반도체 장비 전문기업 예스티(122640)가 ‘고압 어닐링 베타 장비’ 개발을 본격화한다고 2일 밝혔다.

예스티는 글로벌 반도체 기업과 고압 어닐링 장비 상용화를 위한 알파 테스트를 진행 중이며, 이후 베타 테스트를 진행할 계획이다. 베타 테스트는 알파 테스트 결과를 기반으로 기존 장비를 업그레이드한 후 현장평가를 진행하는 방식으로 진행된다. 테스트가 성공적으로 진행되면 실제 공정 적용을 거쳐 상용화로 이어진다.

고압 어닐링 장비는 반도체 산화공정에서 발생한 계면 결함을 고압 수소·중수소로 치환하는 어닐링 공정에 적용되는 장비다. 최근 글로벌 반도체 기업들이 생산량 및 전력 효율 향상 측면에서 공정 미세화에 대규모 투자를 진행하면서 고압 어닐링 장비의 필요성이 커지고 있다.



예스티는 자체 열제어 및 고압기술을 기반으로 지난해부터 반도체 핵심제조 공정장비 중 하나인 고압 어닐링 장비를 개발해왔다. 예스티의 고압 어닐링 장비는 최대 30기압의 고압 처리를 통해 중수소 농도 100%를 유지할 수 있는 게 특징이다. 반도체 계면에 중수소 침투율 극대화도 가능하다고 회사 측은 설명했다.

예스티 관계자는 “고객사와 긴밀한 협업을 통해 고압 어닐링 알파 장비의 평가가 순조롭게 진행되고 있다”며 “알파 테스트를 통해 확보된 데이터를 기반으로 실제 공정에 적용할 베타 장비의 제작도 완료할 것”이라고 말했다. 그는 이어 “본격적인 장비 공급은 내년부터 이뤄질 것”이라며 “고압 어닐링 장비를 글로벌 반도체 생산라인에 반입해 공정 적용 테스트가 마무리되면 바로 장비 공급으로 이어질 전망”이라고 덧붙였다.