올림푸스한국, 관찰 기능 높인 반도체·평판디스플레이용 현미경 출시

by경계영 기자
2017.07.24 09:01:18

올림푸스한국이 출시한 반도체·평판디스플레이(FPD) 검사용 산업 현미경 MX63L. 사진=올림푸스한국

[이데일리 경계영 기자] 올림푸스한국이 반도체와 평판디스플레이(FPD) 결함을 잘 찾아낼 수 있는 산업용 현미경을 새로 내놨다.

올림푸스한국은 24일 관찰 성능을 한층 높인 반도체·FPD 검사용 산업현미경 MX63과 MX63L을 출시한다고 밝혔다.

이들 현미경엔 발광다이오드(LED) 광원과 새로운 포커스 시스템, MIX 관찰법이 새로 적용됐다. MIX 관찰법은 명시야, 형광, 편광 관찰을 암시야 관찰과 조합하는 올림푸스만의 고유 기법으로 웨이퍼의 색상 정보와 회로 구조를 한번에 파악 가능하다.



이번 현미경엔 고광도 LED 광원으로 색 재현율을 높였다. LED 광원은 할로겐 조명과 달리 광도와 관계 없이 색을 정확하게 표현한다는 장점이 있다. 더욱이 소모 전력이 낮고 수명이 길어 유지관리 비용도 절감할 수 있다.

순수 웨이퍼나 유리, 필름 등 무늬가 없는 시료에도 초점을 맞출 수 있도록 포커스 에이드(Focus Aid) 기능도 도입됐다.

산업현미경 MX63은 웨이퍼 직경 최대 200㎜까지, MX63L은 최대 300㎜까지 관찰할 수 있다.

전종철 올림푸스한국 사이언스솔루션사업본부장은 “올림푸스의 신기술이 집약된 산업현미경이 다방면에서 활용돼 한국 반도체 산업의 신뢰성과 정확도를 높이는 데 도움이 되길 바란다”고 말했다.