by임일곤 기자
2008.10.02 10:18:43
[이데일리 임일곤기자] 테스(095610)는 2일 이사회를 열고 반도체 제조용 건식 식각 장치 와 이를 이용한 식각량 모니터링 장치 등 특허권을 삼성전자에서 양수하기로 결정했다고 공시했다.
양수목적과 활용계획은 기존 반도체 장비(CVD, ETCH) 경쟁력 강화, 반도체와 태양전지 제조장비 개발에 활용, 기술경쟁력과 원가경쟁력 향상 등이다.