by김상욱 기자
2008.05.19 09:50:08
지진 발생때 삼성전자·하이닉스 장비 수십여대 일제히 ''오류''
스캐너 장비, 미세한 진동에도 동작 멈춰
피해 없었지만 놀란 가슴 쓸어내려
[이데일리 김상욱기자] 중국에서 발생한 대지진이 바다를 건너 한국 반도체 업계를 기습(?)했다.
삼성전자(005930)와 하이닉스(000660)는 최근 놀란 가슴을 쓸어내렸다. 지난 12일, 삼성전자와 하이닉스의 반도체 생산라인 장비 수십여대가 오류가 나며 동작을 멈췄기 때문.
갑작스런 상황에 각 라인 담당자들은 비상이 걸렸다. 특히 지난해 정전사고로 상당한 손실을 입었던 삼성 반도체는 예상치못한 사태에 긴장했다.
즉시 장비를 재가동하고 사고원인을 파악한 담당자들은 가슴을 쓸어내렸다.
사고의 원인은 중국 쓰촨(四川)성 일대에서 일어난 강도 8.0 수준의 대지진. 중국 지진의 강도가 워낙 세다보니 그 여파가 바다건너 한국의 반도체공장까지 영향을 줬다는 설명이다.
이날 오류를 냈던 장비들은 주로 스캐너로, 포토마스크상의 회로를 웨이퍼에 새기는 역할을 해 준다. 이 장비들은 극히 미세화된 공정으로 외부진동 등의 영향으로 조금의 오차만 발생해도 즉시 동작을 멈추도록 설계돼 있다.
사람들은 느끼지 못했지만 중국 지진의 여파가 한국에도 전해졌고, 이에 대해 민감한 스캐너가 즉각 반응했던 것.
삼성 반도체 관계자는 "오류를 냈던 장비들은 즉시 재가동된 만큼 생산에 전혀 지장이 없었고 피해도 없는 상황"이라며 "중국에서 일어난 지진의 여파가 한국까지 미쳤다는 점은 놀라운 사실"이라고 설명했다.