by류의성 기자
2011.05.20 07:55:36
삼성 화성캠퍼스 반도체 16라인 입고 설비
16라인 올 4분기 가동 목표..월 20만매 이상 생산
[이데일리 류의성 기자] 삼성전자(005930)가 올 4분기 가동을 목표로 건설 중인 차세대 메모리반도체 16라인에 투입될 반도체 장비 발주가 이어지고 있다.
20일 삼성전자와 업계에 따르면 제우스는 삼성전자에 반도체제조장비를 공급하기로 했다. 공급가액은 120억원, 기간은 오는 6월7일까지다.
제이티는 삼성전자와 비모메리 반도체검사장비 공급 계약을 맺었다. 금액은 626억원, 공급은 올 8월1일까지다.
고려반도체와 피에스케이, 국제일렉트릭코리아, 유진테크, 엘오티베큠도 각각 반도체 제조장치 공급 계약을 잇따라 체결했다. 공급기간은 오는 6월부터 9월 사이다.
삼성전자는 이들 회사로부터 공급받는 반도체장비들은 모두 화성 반도체 16라인에 입고될 것이라고 설명했다.
화성캠퍼스 17만평 부지에 들어서는 16라인은 올 4분기 본격 가동에 들어간다. 12인치 웨이퍼로 월 20만매 이상을 생산하게 된다. 완공까지는 단계적으로 총 12조원규모를 투자할 계획이다.