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고압가스는 안전사고 우려가 크기 때문에 산업부와 산하 가스안전공사는 이에 대한 구체적인 안전관리기준을 마련해 운영하고 있다. 그러나 모노실란을 비롯한 반도체 생산용 고압가스는 그 종류가 많고 신소재·신기술 도입이 빠른 속도로 이뤄짐에 따라 안전관리기준이 그 속도를 따라가지 못한다는 현장 목소리가 있어 왔다. 정부는 이에 민·관 합동 실무협의회를 꾸려 안전을 담보한다는 전제로 반도체 산업 특성에 맞는 새 기준을 마련하고 업계의 안전 컨설팅도 지원키로 했다.
박찬기 산업부 수소경제정책관은 “현장 여건에 맞는 안전을 확보하면서 반도체 기업의 경쟁력을 강화하는 균형이 중요한 상황”이라며 “반도체산업뿐 아니라 석유화학·특수가스 등 각 산업계와도 소통해 계속 기준 합리화를 추진하겠다”고 말했다.