반도체 부활 꿈꾸는 日…라비더스, EUV 노광장비 첫 도입

테츠로 히가시 라피더스 호장 라피더스 로고를 가르키고 있다. (사진=AFP)

[이데일리 정다슬 기자] 2027년 최첨단 2nm(나노미터·1㎚=10억분의 1m) 양산을 준비하고 있는 파운드리(반도체 수탁생산) 기업 라피더스가 일본에서 처음으로 극자외선(EUV) 노광장비 반입을 시작했다. EUV 장비는 7nm 이하의 최첨단 반도체를 제작하는 데 필수적인 장비다. 니혼게이자이(닛케이) 신문은 “라피더스를 중심으로 고도의 노하우를 축적하는 것이 일본 반도체 산업이 세계 경쟁에 복귀하는 첫걸음”이라고 평가했다.

코이케 아쓰요시 라피더스 사장은 18일 홋카이도 치토세 공항에서 열린 기념식전에서 “홋카이도, 일본에서 전 세계에 최첨단 반도체를 전달한다. 아직 첫 번째 봉우리를 막 거친 셈이지만, 정상까지는 확실한 한 걸음이다”라고 말했다.

노광장비는 무게가 71톤(t), 높이 3.4미터에 달한다. 극한의 세밀한 회로를 정확하게 그리기 위해 특수한 광원과 렌즈 등 무수한 부품을 조합해야 한다. 진동 등 외부영향을 최소화하기 위해 크기도 거대하다. 너무나도 크기 때문에 라피더스는 EUV 노광장비를 4번에 걸쳐 이송한 후, 치토세공항 근처에 지어지고 있는 공장에 연내 반입할 예정이다. 첫 번째 장비 일부는 지난 14일 치토세 공항을 통해 들어왔다.

일본 반도체 사업의 부흥을 목적으로 2022년 정부 주도로 설립된 라피더스는 IBM에서 기술을 공여받아 2025년 2nm 반도체 시제품을 만들고 2027년 양산에 돌입한다는 계획을 세우고 있다. 이를 위해 세계 유일의 노광장비 회사 ASML로부터 처음으로 EUV 노광장비를 들여온 것이다. 가격도 1대에 300억엔에 달하는데다가 조작 역시 어려워 EUV 노광장비를 가지고 있는 곳은 삼성전자, TSMC, 인텔 정도이다. 2023년 출하 대수는 42대에 불과했다

라피더스는 반도체 생산라인 가동을 위해 150여명의 기술자를 IBM 본사에 파견한다.

일본은 첨단 반도체 부활을 국가 산업경쟁력과 안전보장을 위한 최우선 사업으로 보고 국가 차원에서 지원하고 있다. 일본 반도체산업은 1980년대에는 세계 점유율 50%를 넘었지만 2000년대 들어 로직 반도체 세밀화 경쟁에서 뒤처졌다. 현재는 40nm 공정의 범용 반도체만 생산하고 있다.

한편, 세계 3위 낸드플래시 업체 키옥시아는 이날 일본 도쿄 증시에 상장했다. 이날 주가는 공모가(1455엔) 대비 10.4% 오른 1606엔에 마감했다. 키옥시아는 기업공개(IPO)과정에서 구주 매출을 통해 약 1200억엔에 달하는 자금을 확보했다.