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DN솔루션즈, 반도체 산업용 고정밀 가공기 ‘DNC 시리즈’ 출시

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김영환 기자I 2025.11.04 10:55:09

석영·세라믹 등 난삭재 가공 특화…정밀도·생산성·내구성 모두 강화
공구 자동 드레싱·분진 제어 등 현장 편의성 높인 차세대 장비

[이데일리 김영환 기자] 글로벌 공작기계 기업 DN솔루션즈(DN Solutions)는 반도체 산업에 특화된 고정밀 연삭가공기 ‘DNC 시리즈’(DNC 8050, DNC 8060)를 새롭게 선보였다고 4일 밝혔다.

‘DNC’는 ‘DN Solutions Ceramic’의 약어로, 세라믹·석영 등 반도체 공정용 난삭재 가공을 위한 전용 설비를 의미한다.

고정밀 연삭가공기 DNC 8060(사진=DN솔루션즈)
이 장비는 반도체 웨이퍼 공정에 쓰이는 포커스링 등 소모성 부품 제작을 위해 설계됐다. 해당 부품들은 고온·화학물질 환경에서 사용되기 때문에 석영(Quartz), 세라믹(Ceramic), 실리콘카바이드(SiC) 등 고강도 소재로 만들어진다. 이러한 소재는 가공이 까다로운 ‘난삭재’로 분류돼 높은 정밀도와 안정성이 요구된다.

DN솔루션즈는 이러한 공정 특성에 대응하기 위해 자체 기술로 최대 1만rpm 속도와 7.5kW 고출력을 내는 고성능 연삭 스핀들을 개발했다. 이를 통해 석영·세라믹 같은 소재도 미세 균열 없이 정밀하게 가공할 수 있도록 했다.

또 고강성 일체형 베드 구조와 고정도 이송축 가이드를 적용해 진동을 최소화하고 장시간 연속 가공 중에도 열변위로 인한 품질 저하를 방지했다. 기존 장비에서 문제로 지적된 정밀도 유지력과 수명 한계도 크게 개선됐다.

가공 중 발생하는 석영 미세 분진(슬러지)에 대한 대책도 마련했다. 장비 내부에 절삭유나 분진이 침투하지 않도록 베드 경사면 전체를 감싸는 슬라이딩 커버 구조를 적용했고 일자형 탈착식 절삭유 탱크를 도입해 유지보수 편의성을 높였다.

생산성 향상을 위한 자동화 기능도 강화됐다. 장비 내부에는 공구 드레싱 전용 스핀들을 내장해 가공 중에도 자동으로 숫돌 공구의 상태를 복원할 수 있다. 그동안 작업자가 수동으로 드레싱하던 공정을 자동화해, 연속 생산 효율과 제품 품질을 모두 확보했다.

DNC 시리즈는 터닝센터(선반)의 회전 가공과 머시닝센터(밀링)의 복합 기능을 통합했다. 한 번의 셋업으로 내경·외경·홀·윤곽 가공을 모두 처리할 수 있으며, 공구 자동 교환 시스템과 공구·소재 자동 측정 장치를 탑재해 완전 자동화 공정이 가능하다.

DN솔루션즈 관계자는 “회사는 이미 국내 반도체 소재 가공장비 시장의 절반 이상을 점유하고 있으며, 일부 공정에서는 80%에 달한다”며 “이번 DNC 시리즈는 이러한 노하우를 바탕으로 개발된 장비로, 반도체 장비의 국산화와 기술 경쟁력 강화에 크게 기여할 것”이라고 말했다.

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