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13일(현지시간) 블룸버그 통신에 따르면 중국 반도체 장비업체 베이징 이타운 반도체기술유한공사(Beijing E-Town Semiconductor Technology Co.)는 어플라이드 머티어리얼즈를 상대로 베이징 지식재산권 법원에 소송을 제기했다고 상하이증권거래소 공시를 통해 밝혔다.
이타운은 어플라이드 머티어리얼즈가 자사의 핵심 기술인 플라즈마 소스를 활용한 웨이퍼 표면 처리 기술을 불법적으로 획득하고 사용했으며, 이를 외부에 유출했다고 주장했다.
소장에 따르면 어플라이드 머티어리얼즈는 이타운의 미국 자회사인 맷슨 테크놀로지(Mattson Technology) 출신 직원을 두 명 채용했고, 이들은 플라즈마 관련 기밀 기술에 접근할 수 있는 위치에 있었다. 이들이 어플라이드로 이직한 이후, 어플라이드는 두 사람을 공동 발명자로 기재한 특허를 중국 국가지식산권국(CNIPA)에 출원했다. 이에 대해 이타운은 해당 특허 출원이 자사 및 맷슨이 공동 소유한 영업비밀을 침해했다고 주장했다.
해당 사건은 법원에 의해 접수됐지만, 아직 재판은 시작되지 않았다.
이타운은 “이 특허 출원은 중국의 반부정경쟁법을 위반했으며, 영업비밀을 침해함으로써 원고의 지식재산권과 경제적 이익에 중대한 손해를 입혔다”며 “어플라이드가 이 기술을 중국 고객에게 판매 및 마케팅하고 있는 정황도 포착됐다”고 주장했다.
이에 따라 이타운은 법원에 어플라이드 머티어리얼즈가 자사의 영업비밀 사용을 중단하고 관련 자료를 폐기할 것을 요구하고 있으며, 약 1억 위안(한화 약 192억 원)의 손해배상을 청구했다.
반도체 제조 장비 기술은 미·중 간 장기화된 기술 패권 경쟁의 핵심 분야로, 현재까지 해당 분야는 미국, 네덜란드, 일본이 주도하고 있다. 미국 주도의 수년간 제재로 인해 중국 기업들은 최첨단 인공지능(AI) 칩 제조에 필수적인 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비를 확보하지 못하고 있으며, ASML 장비도 어플라이드나 램리서치 등 미국 업체들의 장비 없이는 원활히 작동하지 않는다.
일각에선 이번 소송이 중국의 미국 제재에 대한 ‘보복성 대응’으로 비칠 수 있다는 분석도 나온다. 그러나 양사는 이미 이전부터 법적 분쟁을 겪고 있는 상황이다. 어플라이드는 2022년 맷슨을 상대로 산업스파이 혐의로 소송을 제기한 바 있으며, 당시 맷슨은 모든 혐의를 부인했다.
