예스티, HPSP 고압어닐링 ‘303 특허’ 무효 심판 승소

[이데일리 김영환 기자] 반도체 장비 기업 예스티(122640)가 HPSP(403870)의 고압어닐링 장비 관련 특허 무효 심판에서 승소했다.

예스티는 특허심판원이 HPSP의 고압어닐링 장비 이중벽 구조 관련 특허(제0766303호·이하 303 특허)에 대해 무효 판정을 내렸다고 28일 밝혔다.

앞서 예스티는 지난 2023년 12월 해당 특허에 대한 무효 심판을 청구했다. 이후 HPSP는 2025년 6월 예스티를 상대로 303 특허 침해소송을 제기한 바 있다.

예스티에 따르면 HPSP는 무효 심판 과정에서 특허 유지를 위해 총 5차례 정정 신청을 진행했다. 이 과정에서 당초 이중벽 구조 중심이던 특허 권리 범위는 가스 배출 관련 내용으로 대폭 축소됐지만 결국 무효 판정을 받았다는 게 회사 측 설명이다.

예스티 관계자는 “303 특허는 오는 5월30일 만료 예정인 특허로 이번 심결과 관계없이 고객사 판매와 양산 공급에는 영향이 없다”며 “특허 정정 과정에서 예스티 제품의 구조와 작동 방식과는 완전히 다른 형태로 권리 범위가 변경돼 침해 가능성 자체가 없었다”고 주장했다.

양사의 특허 분쟁은 2023년 8월 HPSP가 잠금장치 관련 ‘027 특허’를 근거로 침해소송을 제기하면서 본격화됐다. 이후 예스티는 HPSP 특허 5건에 대해 무효 심판 및 소극적 권리범위 확인심판 등을 청구하며 대응에 나섰다.

예스티는 현재까지 303 특허를 포함한 5건 모두에서 자사 제품과 무관하다는 판단을 받았거나 특허 정정 과정에서 양사 제품 간 구조적 차이가 명확해졌다고 설명했다.

한편 잠금장치 관련 027 특허 무효 및 소극적 권리범위 확인심판 2심 선고는 오는 6월18일 예정돼 있다. 관련 특허 침해소송 역시 해당 결과를 반영해 이후 절차가 진행될 전망이다.

예스티 관계자는 “예스티 잠금장치는 HPSP 특허와 전혀 다른 독자 구조를 적용하고 있다”며 “특허 정정 이후 기술적 차별성이 더욱 명확해진 만큼 2심에서도 좋은 결과를 기대하고 있다”고 말했다.