램테크놀러지 “초고순도 불화수소 생산 정제방법·장치 개발”

사진=램테크놀로지

[이데일리 김상윤 기자] 반도체 소재 기업인 램테크놀러지는 지난 10월1일 초고순도 불화수소 생산을 위한 정제방법 및 장치개발 관련 특허를 등록했다고 22일 밝혔다.

기존에는 형석을 가지고 증류법, 전기 분해법, 흡착법, 막분리법 등 여러 정제 공정을 통했다. 이번에 개발한 생산방식은 이같은 전처리 공정이 생략된다.

회사측은 “정제 공정을 간소화해 경제적, 효율적으로 초고순도 불화수소를 생산할 것으로 기대한다”고 설명했다.

램테크놀러지는 반도체용 불산 제품의 단일 금속 불순물의 농도를 1ppt 이하로 만드는 목표를 잡고 있다.