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이 R&D 센터는 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 기반으로 초미세 제조 공정을 공동 개발하게 된다. 삼성전자로선 ASML이 독점 생산하는 EUV 장비 쟁탈전에 한층 더 우위를 점하게 된 셈이다. 그도 그럴 것이 1대당 최소 2000억원에 달하는 고가인데다 생산 가능 수량이 1년에 약 50여 대뿐이라 확보가 쉽지 않기 때문이다.
무엇보다 글로벌 파운드리(반도체 위탁생산) 1위인 대만 TSMC의 아성을 무너뜨리려면 삼성전자로선 EUV 장비 확보를 최대 과제 중 하나로 놓을 수밖에 없다. 이와 함께 ASML은 2400억원을 투자해 화성에 짓고 있는 화성 뉴 캠퍼스와 R&D센터와의 시너지 효과를 기대하고 있다. R&D센터를 통해 삼성전자와 SK하이닉스 등 한국 기업 기술 로드맵에 부합하는 니즈를 파악하고 뉴 캠퍼스를 통해 신속한 고객 지원 등으로 연결될 수 있어서다.
래머스 부사장은 “화성 뉴 캠퍼스에 마련되는 새로운 트레이닝 센터에서 2nm 기반 반도체 양산에 필요한 하이 NA(Numerical Aperture) EUV 장비에 대한 교육과정도 진행될 것”이라고 설명했다.
래머스 부사장은 “한국은 ASML 전 세계 매출의 25~30% 상당을 차지하는 중요하면서도 흥미로운 시장”이라며 “저희 직원들의 50% 이상이 고객사에 파견돼 근무하고 있으며 저도 매주 미팅을 갖는 등 협력을 지속 중”이라고 했다. 그는 “ASML이 성장함에 따라 (한국 내) 필요한 직무도 늘어나고 있다”며 향후 인력 확대 가능성을 시사했다.
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