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원익IPS는 지난 2018년 1월부터 2년여간 장비 국산화를 위해 연구를 진행, 지난해 8월 국산 제품 납품에 성공했다. 기술 국산화 연구는 국내 장비업계에서 그간 상용화하지 못했던 메탈 CVD·ALD 장비를 양산했다는 점에서 업계에서 기술력을 인정받았다.
원익IPS 관계자는 “자원과 기술의 무기화로 국제적 공급망에 위기가 현실화된 시기에 안정적인 반도체 공정 생산성과 성능 향상은 물론 설비 안정화라는 부분까지 이끌어 낸 혁신기술로 평가 받으며 이번 ‘2021년 혁신우수 기업시상’에서 최우수상 대상 기업으로 선정된 배경”이라고 설명했다.
전진호 원익IPS 개발팀장은 “지난 2년여간 팀원들과의 노력이 결실을 맺은 것으로 장비개발의 의미는 단순 국산화의 의미를 넘어 대한민국의 반도체 산업 발전에 기여한 것”이라고 말했다.
원익IPS는 2016년 상장된 반도체 장비 제조 전문기업이다. 2004년에는 반도체 화학기상증착(CVD) 장비 개발 및 양산에 성공, 점유율을 높이고 있다. 또 다양한 연구개발을 통해 반도체 장비 외 디스플레이(Display)의 증착기 분야 등 다각적인 포트폴리오를 갖추며 성장을 이어가고 있다.