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칠러 사업 부문에 대해서 “초저온(극저온) 칠러 시장이 확대될 것으로 기대되며 이에 따른 수혜가 예상된다”며 “디램과 파운드리의 극자외선(EUV) 노광공정, 3D 낸드 식각공정에서 안정적인 수율 확보를 위해 초저온 칠러의 필요성이 확대되고 있다”고 분석했다.
이산화탄소(Co2) 칠러는 미국과 유럽연합(EU)에서 지구온난화지수(GWP)가 높은 칠러 사용을 축소하려는 환경 규제에 대응하는 친환경 제품이다. 유니셈은 Co2 반도체 공정용 칠러 개발에 성공해 글로벌 파운드리 기업과 데모 납품을 준비하고 있으며 미국 반도체 기업과는 테스트를 진행 중이다.
권 연구원은 “주요 고객사의 기존 반도체 생산라인(Fab)은 주로 번(Burn) 타입의 스크러버가 설치돼 있다”며 “북미와 유럽에서 친환경에 대한 규제가 확대됨에 따라 플라즈마, 히트 스크러버에 대한 수요가 확산되고 있다”고 설명했다. 이어 “고객사의 신규 Fab 구축 시 변경된 방식의 스크러버 적용률이 상향될 것으로 기대된다”며 “이는 실적 개선에 기여할 것”이라고 덧붙였다.





