차세대 반도체 공정 장비 선도기업 아이엠티 최재성 대표는 8일 서울 여의도에서 열린 기업공개(IPO) 기자간담회에서 “아이엠티는 반도체 공정의 건식 세정 분야에서 독보적인 기술력을 보유하고 있다”면서 이같이 말했다.
아이엠티는 내달 중에 코스닥에 상장하는 것을 목표로 하고 있다. 총 공모주식 수는 158만주, 주당 공모 희망 밴드는 1만500~ 1만2000원, 공모 예상금액은 희망 밴드 상단 기준 최대 190억원이다. 오는 6~12일 수요예측을 실시해 공모가를 확정한 후, 18~19일 일반 공모청약을 진행할 예정이다. 상장 대표주관사는 유안타증권(003470)이다.
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2000년 설립된 아이엠티는 지난 4월 코스닥 상장을 위한 기술성 평가에서 한국발명진흥회로부터 AA 등급을 받았다. 이번 평가는 기술특례상장 제도가 시작된 이래 소재·부품·장비 기업이 AA 등급을 획득한 첫 사례다.
그동안 아이엠티는 레이저(Laser)와 이산화탄소(CO2)를 활용한 건식 세정 장비 사업과 국내 유일의 극자외선 마스크 레이저 베이킹(EUV Mask Laser Baking) 장비 사업을 해왔다. 반도체 기술이 갈수록 고도화, 정밀화 되면서 건식 세정 장비가 주목받고 있다.
아이엠티는 건식 세정을 기반으로 반도체 전공정의 △프로브 카드용 레이저 세정 장비부터 반도체 후공정의 △조립 단계 CO2 세정 장비 △패키징 단계 몰드(Packaging Mold) 레이저 세정 장비 △최종 테스트 단계 소켓 세정용 레이저 세정장비 등의 제품군을 구축하고 있다.
아이엠티는 극자외선 마스크 레이저 베이킹 기술력도 뛰어나다. EUV 마스크 레이저 베이킹 장비 사업은 국내에서 아이엠티가 유일하다. EUV는 파장이 13.5nm에 불과한 레이저다. 파장이 짧을수록 더 미세한 패턴을 그릴 수 있어 정밀성이 요구되는 반도체 제조 분야에서 주목받고 있다. 아이엠티의 EUV 마스크 레이저 베이킹 장비는 더욱 선명한 해상도의 회로 패턴을 형성할 수 있다.
아이엠티는 IPO로 조달한 공모자금으로 연구개발(R&D) 인력을 확대하고, 생산시설을 확충할 계획이다. 현재 전체 직원 가운데 R&D 인력은 46% 수준이다. 아이엠티는 반도체 분야 외에도 2차전지 등 레이저 세정에 대한 수요가 있는 분야로 시장을 확대해 성장 속도를 높일 계획이다.
최재성 대표는 “글로벌 반도체 기업들이 미세공정을 위해 EUV 공정을 도입하는 사례가 늘어날 것”이라며 “차세대 반도체 고대역폭 메모리(HBM) 분야에서도 당사의 기술에 대한 수요가 큰 폭으로 증가할 것으로 기대된다”고 강조했다.