에스앤에스텍은 사업 확장과 EUV 관련 소재 양산을 위해 공장 설계, 건축 허가 등 행정 절차를 마치고 지난 3월 200억원을 투입해 연내 완공을 목표로 경기도 용인에 공장을 신축 중이다. 하지만 에스앤에스텍은 4일 이사회를 열어 용인 공장 신축 시점을 2년 연기하기로 결정했다.
이와 관련, 우선 43억원만 투입해 기존 대구 공장 클린룸 증설을 연내 마칠 예정이다. 이를 통해 EUV 블랭크마스크 양산 준비를 진행하는 동시에 EUV 펠리클 초도 양산을 위한 설비도 함께 구축할 예정이다. 이어 오는 2024년까지 용인에 공장 신축을 마무리할 계획이다.
EUV 블랭크마스크는 EUV 노광공정에서 웨이퍼에 회로를 새기는 데 활용하는 원판 소재다. 나노미터(㎚, 10억분의 1m) 수준 얇은 다층 막 위에 합금을 다시 적층하는 과정을 거쳐 제작된다.
EUV 펠리클은 지난해 90% 투과율을 보이는 펠리클을 만든데 이어 현재 92% 투과율 제품을 개발 중이다. 에스앤에스텍 관계자는 “이번 투자 계획은 대구 공장 내 기존 설비를 공유하는 방식으로 불필요한 중복투자를 막고 자원을 효율적으로 운용하기 위한 것”이라고 말했다.
이어 EUV 펠리클 사업과 관련해 “용인 공장 투자 종료 시점 연장을 제외하고 기존 예정된 투자는 변동 없이 진행할 것”이라고 덧붙였다.