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RFHIC가 반도체형 마이크로웨이브 제너레이터를 적용시키는 사업 분야는 플라즈마(Plasma), 가열(Heating), 가속기(Accelerator) 등 3가지로 구분된다.
이중 플라즈마 사업은 다양하게 응용이 가능한 만큼 수소 생산 설비, 폐기물 처리 장비, CVD(Chemical Vapor Deposition) 및 반도체 공정 장비 등에 적용될 예정이다.
수소생성용 마이크로웨이브 제너레이터는 이산화탄소 발생없이 수소를 생성하는 플라즈마 메탄 열분해(Methane Pyrolysis) 방식의 수소 생산 설비에 적용이 가능해, 기존의 수소 생산 방식과 달리 저비용으로 ‘그린수소’를 생산할 수 있다는 특징이 있다.
또한 폐기물 처리용 마이크로웨이브 제너레이터는 기존 마그네트론 제품 대비 더 높은 플라즈마 온도를 일정하게 유지할 수 있고, 국내 바이오매스 발전사업에 당사 제품이 적용되어 올해부터 매출이 발생하고 있다.
CVD는 플라즈마와 여러가지 가스를 결합해 새로운 물성을 증착하는 장비로, 고품질의 상업용 다이아몬드 성장이 가능하다. 최근 해외 글로벌 업체에서 당사 제품에 고정밀 제어기능 적용을 검토하는 등 내년에는 글로벌 시장 진출이 가시화될 것으로 보인다.
회사는 가열사업 분야에서는 주파수 등을 조정하여 원하는 위치에 선택적으로 열이 전달될 수 있게 하는 가열용 마이크로웨이브 제너레이터를 개발했다. 식품가공, 제약 및 신소재 사업에 적용할 수 있고, 특히 식품가공 분야에서 대량의 식재료를 해동, 조리 및 건조할 수 있어 국내 식품 대기업과 협업을 진행하고 있다.
또한 가속기 사업분야의 마이크로웨이브 제너레이터는 암 치료 등 의료분야 및 산업분야에 적용이 가능하다. 특히 의료분야의 경우 입자를 가속시켜 개복하지 않고 몸 속 암세포만 제거하는 치료 장비에 활용할 수 있다. 현재 글로벌 의료기기 업체의 일부 제품에 적용되었으며, 내년에는 다수의 글로벌 기업들과 공급 논의가 이어질 것으로 보인다.
RFHIC 관계자는 “질화갈륨 트랜지스터가 적용된 반도체형 마이크로웨이브 제너레이터에 디지털 제어방식을 사용함으로써, 다양한 주파수 대역과 출력을 대응할 수 있는 제품을 구축했으며 이로써 고객의 요구에 선제적으로 대응이 가능해졌다”고 설명했다.
이어 “이를 기반으로 블루오션 시장인 RF에너지 사업 확대가 가능할 것으로 본다”며, “현재 국내외 기업들과 기술 적용 등을 논의하고 있는 만큼 내년에는 본격적인 매출 발생을 기대하고 있다”고 덧붙였다.