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앞서 5일 서울경제에 따르면 삼성전자는 최근 자회사 세메스의 노광 공정용 트랙 장비 승인(퀄) 테스트를 성공적으로 완료했다. 삼성전자가 테스트한 장비는 불화아르곤이머전(ArFi)용 트랙 장비로, 업계에서는 내년쯤 삼성전자 반도체 라인에 이 장비를 들일 것으로 보고 있는 것으로 알려진다.
알에스오토메이션은 약 2년 전부터 웨이퍼이송시스템(OHT) 국산화 개발 프로젝트에 참여해 국내 최초로 삼성전자의 평택 반도체 생산라인에 표준 사양으로 채택된 바 있다. 이에 덩달아 투자자들의 관심을 받고 있는 것으로 보인다. 또 세메스는 삼성전자가 91.54%의 지분을 보유하고 있는 반도체 장비 자회사로, 알에스오토메이션과도 협업을 통해 차세대 물류라인 제어장치를 개발한 바 있다.



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