지난해 12월 SK하이닉스는 산업 AI 전문 스타트업 ‘가우스랩스’가 출시한 가상 계측 AI솔루션 ‘판옵테스 VM’(Panoptes VM)을 양산 팹(공장)에 도입했다.
SK하이닉스는 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 판옵테스 VM을 반도체 품질과 직결되는 박막 증착 공정에 투입했다.
통상 박막 두께와 굴절률이 품질에 직결되지만, 미세한 박막에서 이를 계측하려면 시간과 자원이 오래 소요됐던 점을 개선한 것이다.
이를 통해 분석한 데이터 결과값을 APC와 연동해 공정 산포(생산 제품의 품질 변동 크기) 평균 21.5% 개선 및 수율까지 향상할 수 있었다.
SK하이닉스는 판옵테스 VM을 다른 공정에도 확대 도입하는 것을 검토하고 있다.
김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 “가우스랩스와 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다”며 “반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것”이라고 말했다.
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