ASML CEO 만난 산업장관 “국내 투자 적극 뒷받침”

[이데일리 임애신 기자] 문승욱 산업통상자원부 장관은 18일 “ASLM이 화성 클러스터 투자를 진행하는 과정에서 발생하는 어려움을 정부 차원에서 적극적으로 해소하겠다”고 밝혔다.

문 장관은 이날 경기도 화성에 소재한 ASML코리아 본사에서 첨단 글로벌 장비기업 ASML 피터 베닝크 최고경영자(CEO)와 면담을 하고 △최근 반도체 업황 및 기술 동향△글로벌 반도체 공급망 이슈 △ASML 신규 투자 관련 국내기업과 협력 강화 방안 등을 논의했다.

이번 면담은 이달 16~18일 피터 베닝크 CEO가 정례적인 지사 방문을 통한 현장 경영차 한국을 방문한 것을 계기로 성사됐다.

문승욱(사진 오른쪽) 산업통상자원부 장관은 18(일 경기도 화성에 소재한 ASML코리아 본사에서 첨단 글로벌 장비기업인 ASML사의 피터 베닝크 CEO와 면담을 했다. (사진=산업부)

반도체 미세공정에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비 시장을 독점하고 있는 네덜란드 기업 ASML은 첨단 반도체를 제조하는 우리 반도체 기업 입장에서 긴밀한 협력이 필요한 글로벌 장비기업이다.

문 장관은 면담에서 2400억원 규모의 ASML 화성 반도체 클러스터 투자 결정에 환영의 뜻을 밝혔다. 앞서 ASML은 2400억원 규모를 투자해 경기도 화성에 제재조 센터, 트레이닝 센터 등을 건립할 것을 결정한 바 있다.

문 장관은 “이번 투자를 통한 ASML과의 협력 강화로 첨단 반도체를 제조하는 우리 기업들의 경쟁력 강화가 기대된다”며 “향후 국내 소재·부품·장비 기업들과의 협업을 확대해 EUV 노광장비 등 첨단 장비 관련 소재·부품의 공급 안정성 강화에 힘써 달라”고 당부했다.

이에 피터 베닝크 CEO는 EUV 노광장비의 신속한 국내 공급을 위해 지난해 건의한 ‘고압가스안전관리법’상 중간검사 방식이 개선된 것에 대해 감사의 뜻을 전했다.

EUV 노광장비는 내부에 고압가스 제조설비가 소규모 패키지 형태로 들어가 있어 고압가스안전관리법상 일반제조 허가 대상이다. 기존에는 가스안전공사가 네덜란드에서 중간검사를 하고 국내에 설치한 후 완성검사를 받아야 했다.

ASML 측은 EUV 장비를 한국에 신속하게 도입하는 데 장애물로 작용한다고 판단, 검사 방식 건의를 개선했다. 우리 정부는 고압설비 부분이 특수 형태인 것을 고려해 올해 3월부터 네덜란드 국제공인기관의 검사결과를 중간검사로 대체하는 것을 허용했다.

피터 CEO는 “한국은 1996년부터 고객과 함께 해 온 ASML에 중요한 시장”이라며 “한국 정부의 적극적인 협조에 감사드리며 앞으로도 ASML은 이 관계를 이어나가며 한국 반도체 산업 발전에 기여할 수 있길 바란다”고 화답했다.

면담 직후에는 서철모 화성시장, 오병권 경기도 도지사 권한대행 제1행정부지사, 이원욱 국회의원, 이은주 경기도의원, 황광용 화성시의원, 이창한 반도체협회 부회장 등이 참석한 가운데 ‘ASML 화성 반도체 클러스터 조성’을 위한 업무 협약식이 진행됐다.

ASML 코리아는 동탄2신도시 도시지원시설 용지 약 1만6000㎡ 부지에 1500명 수용이 가능한 오피스(본사 확장)와 심자외선(DUV)·EUV 트레이닝센터, 재제조 센터 등을 클러스터화해 건립해 인재 양성과 소부장 국산화를 지원한다. 또 체험센터를 건립해 지역 학생을 대상으로 과학캠프를 운영할 예정이다. ASML은 이를 위해 2025년까지 약 2400억원을 투자할 계획이다.

이는 지난 5월 발표된 ‘K-반도체 전략’에 포함됐다. 지난 17일에는 산업부와 경기도, 화성시 협업을 통한 적극적 지원으로 투자 대상 부지 계약이 체결되는 등 투자가 진전되고 있다.

문승욱 장관은 협약식 축사에서 “이번 투자를 포함한 반도체 분야 민간투자를 정부 차원에서 적극적으로 뒷받침할 계획”이라며 “향후 투자 진행 과정에서의 어려움 해소도 지원하겠다”고 강조했다.