일진다이아,"무정전기 블랙 LT웨이퍼" 세계 첫 개발(상보)

김기성 기자I 2002.10.07 13:36:57
[edaily 김기성기자] 일진다이아(20760)몬드(대표 김규섭, www.iljindia.co.kr)는 최근 정전기 발생이 없고 빛의 난반사도 차단하는 "무정전기 블랙 LT웨이퍼"를 세계 첫 개발했다고 7일 밝혔다.

이 제품은 휴대용 통신기기의 핵심부품인 표면탄성파 필터(SAW Filter)의 기판소재인 리튬탄탈레이트(LT) 웨이퍼의 물성을 크게 개선한 것으로 그동안 이 같은 소재는 재료 특성상 양산이 불가능했었다.

하지만 일진다이아몬드는 LT웨이퍼를 사용하는 SAW 필터의 생산성 및 신뢰성 향상을 위해서는 정전기 발생을 없애고 투광성을 줄이는 게 필요하다는 SAW필터 업체의 요구를 반영, 지난 2000년말부터 개발에 착수해 2년여만에 이같은 특성을 만족시키는 제품을 세계 최초로 개발하는 데 성공했다고 설명했다.

LT웨이퍼는 초전 정전기 방전(Pyroelectric Sparking)으로 인해 공정중에 웨이퍼가 파손되거나 공정오류가 발생할 소지가 많았다. 이 때문에 일부 SAW필터 제조업체들은 별도의 방전 공정을 추가하거나 웨이퍼 뒷면에 금속도전막을 증착시켜 정전기를 제거해 왔다.

일진다이아몬드가 개발한 공정은 웨이퍼의 비저항을 크게 낮춤으로써 근본적으로 초전기 방전현상을 없애 별도의 정전기 제거과정이 필요 없다. 이에 따라 생산비용절감과 함께 수율을 크게 높일 수 있으며 최종 생산소자의 수명과 신뢰성도 한층 높일 수 있다는 게 회사측 설명이다.

또 무색인 기존 LT 웨이퍼는 SAW 제조공정중 가장 중요한 노광 공정에서 웨이퍼를 투과한 자외선이 기판 뒷면에서 난반사돼 패턴의 해상도를 떨어뜨리는 결점이 있었으나 이번 제품은 특수 처리한 블랙 컬러로 노광 공정에 사용되는 광선을 대부분 흡수, 이런 문제를 해결했다.

아울러 비저항이 낮아짐에 따라 SAW필터의 전력손실을 줄임으로써 핸드폰 배터리의 수명도 크게 연장할 수 있다는 것도 장점이다.

일진다이아몬드는 이번에 개발한 "Pyroelectric Sparking-free LT Wafer 제조공정"에 대해 특허를 출원중이며, 현재 양산설비 설계와 함께 주요 SAW 필터업체에서 제품 테스트를 진행하고 있다. 올 연말까지는 파일럿 생산을 거쳐 내년 초부터 본격적으로 생산에 들어갈 예정이다.

일진다이아몬드 관계자는 "이미 이 제품에 대한 SAW필터 업체들의 공급 요청이 많아 앞으로 LT웨이퍼 생산 전량을 Pyro-free 공정 처리해 독점 공급할 계획"이라며 "주문량의 증가에 대비해 생산량을 늘리기 위한 증설계획도 세우고 있다"고 말했다.

일진다이아몬드는 앞으로 LT웨이퍼의 시장점유율이 현재의 2배 이상으로 확대될 것으로 기대하고 있으며, 고가의 신제품을 주력으로 공급함으로써 매출 및 수익이 크게 늘어날 것으로 예상했다. 현재 국내 95%, 세계 15%의 LT웨이퍼의 시장점유율을 갖고 있는 일진다이아몬드는 올해 이 품목으로 70억원, 내년에는 150억원의 매출을 올린다는 방침이다.


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