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장동복 예스티 대표이사는 “반도체·디스플레이 사업을 기반으로 신사업을 통한 회사의 성장에 대한 확신과 책임경영 강화를 위해 자사주를 매입했다”며 “특히 반도체 고압 어닐링 장비에 대한 기대가 큰 상황으로 해당 장비는 외형 및 수익성 확대에 크게 기여할 것”이라고 말했다.
예스티는 지난해부터 반도체 사업분야 신성장 동력으로 고압 어닐링 장비를 개발해왔다. 어닐링 장비는 반도체 실리콘 옥사이드(Si) 표면의 결함을 고압의 수소·중수소로 치환해 반도체 생산 수율을 향상해주는 장비다.
최근 글로벌 반도체 기업들은 10㎚ 이하의 초미세 공정을 확대해 정보처리 속도 향상에 집중하고 있다. 고압 어닐링 공정을 통한 반도체 성능 및 생산 수율 향상이 핵심 경쟁력으로 부각되면서 고압 어닐링 장비 수요도 증가 추세다.
예스티 관계자는 “반도체 고압 어닐링 장비는 국내 글로벌 반도체 기업과 알파 장비 테스트를 진행 중”이라며 “실제 반도체 제조 공정에 적용하기 위한 베타 테스트 또한 차질 없이 진행될 예정으로 관련 준비에 회사 역량을 집중하고 있다”고 말했다. 그는 이어 “고압 어닐링 장비의 본격적인 상용화는 내년 중으로 가능할 것”이라며 “고압 어닐링 장비의 상용화를 통해 매출 및 이익 상승폭이 큰 폭으로 개선될 전망”이라고 덧붙였다.
