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한양대 연구책임자를 맡은 박창균 한양대 신소재공학과 BK연구교수는 국내 대표 반도체 장비 기업인 ‘주성엔지니어링’에서 15년간 근무하며 부사장(반도체 개발 그룹장)을 역임했다. 국내외 글로벌 기업들과 반도체 관련 장비 및 공정 개발을 다수 진행했을 뿐 아니라, 반도체와 디스플레이 관련 특허 124건을 보유 중이며 다수의 국책과제를 수행한 경험이 있다.
예스티는 반도체 전문가들과 함께 개발 예정인 차세대 고압 어닐링 장비의 특성평가 및 공정 검증을 진행할 계획이다. 두 기관 모두 반도체 산업과 관련해 다양한 연구시설과 우수한 연구 인력들이 다수 포진한 만큼, 장비의 양산성 검증 외에도 신규 응용 분야를 발굴하는 것이 목표라고 회사 측은 설명했다.
예스티 관계자는 “이번 국책과제를 통해 고압 어닐링 관련 기술을 더욱 고도화하는 것은 물론, 적용 공정을 확대에 주력할 것”이라며 “반도체 분야 최고 연구진들과 정밀한 평가를 진행해 고생산성 고압 어닐링 장비를 개발하겠다”고 말했다.
이어 “이와 별도로 예스티는 연내 공급을 목표로 고압 어닐링 장비의 공정 적용 평가 단계인 베타 테스트도 자체적으로 준비하고 있어 반도체 장비 부문의 실적 성장이 가속화될 것”이라고 덧붙였다.
